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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:Pura高純氣露點變送器/在線露點儀

  • 產(chǎn)品型號:Pura
  • 產(chǎn)品廠商:英國Michell露點傳感器
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
Pura高純氣露點變送器/在線露點儀在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
詳情介紹:

Pura高純氣露點變送器/在線露點儀


Pura高純氣露點變送器/在線露點儀是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的頭個適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。

Pura高純氣露點變送器/在線露點儀技術(shù)指標

Pura高純氣露點變送器/在線露點儀傳感器
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
壓力 *低 10-9 torr; *大 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源 通常 24 V DC, *低10 V ~ *高28 V , *大電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
*大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài) 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
Pura高純氣露點變送器/在線露點儀機械性能
傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作
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